金屬鏡面加工是針對(duì)鋁、銅、鈹?shù)冉饘俨牧系母呔裙鈱W(xué)表面制造技術(shù)，其核心在于克服金屬材料軟質(zhì)地、易產(chǎn)生劃痕和熱變形的加工難點(diǎn)。關(guān)鍵技術(shù)包括：（1）超精密金剛石單點(diǎn)車削，通過(guò)納米級(jí)切削深度和超高轉(zhuǎn)速（>5000rpm）實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)面形精度；（2）無(wú)應(yīng)力鍍鎳磷合金層，作為拋光過(guò)渡層以填補(bǔ)金屬晶界缺陷；（3）化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）結(jié)合離子束修形，將表面粗糙度降至0.5nm以下。金屬鏡面具有高熱導(dǎo)率和輕量化優(yōu)勢(shì)，常用于紅外光學(xué)系統(tǒng)（如鋁制反射鏡）和空間低溫載荷（如鈹鏡），但需通過(guò)熱穩(wěn)定化處理（如-196℃深冷循環(huán)）以抑制微應(yīng)變，最終面形精度可達(dá)λ/20（λ=632.8nm），是低成本、快速響應(yīng)光學(xué)元件的首選方案。